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原子层沉积(ALD)背钝化技术简介

产品与技术

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1)通过与表面Si原?#26377;?#25104;Si-H键减少Si晶表面缺陷密度。

2)氧化铝材料表面较高密度负电荷形成“场效应?#20445;?#20943;少硅表面少子密度。从而到达降低表面复合数量,延长载流子寿命密度,提高Voc,Jsc并最终提高电池效率的目的。

 

PERC电池工?#31456;?#32447;

原子层沉积氧化铝作为太阳能电池钝化材料具有制备温度低、钝化效果优良、适用范围广等众多优点。非常适用于N型高效电池的发射极及P型高效电池背表面的钝化(PERC)。氧化铝背钝化工艺只需在现有电池生产工艺基础上增加氧化铝镀膜?#22270;?#20809;划线两步,与其它高效太阳能电池工艺相比,技术难度较小,设备投资成本低,是高效太阳能电池的下一个技术?#36739;頡?/span>

 

理想能源设备ALD背钝化机台特征:

业内首创的 In-Line + Batch ALD方式,具有以下特征:

1.基于已产业化的成熟设备平台,可靠性、稳定性、安全性已通过量产验证?#27599;?#26426;率超过95%,维护方便。

2.模块化设计,可进行灵活配置,满足不同生产环境下的产能需求(500片/小时~3500片/小?#20445;?#21516;时可增加客制化的自动化功能(包括上/下片),与客户生产线灵活对接。

3.托盘式批量电池片传输方式,碎片率降至最低,减少了由于碎片造成的停机时间,同时避免了绕镀现象。

4.维护时间短、运行成本低。采用低压热反应,与PECVD Al2O3工艺相比,TMA用量降低了1/2;相比常压ALD工艺, 减少了颗粒的形成及系统的维护时间。

 

ALD背钝化机台及电池性能

数据表明,采用理想能源设备ALD氧化铝背钝化材料可提升P型多晶电池转化效率0.6%以上,该设备和工艺已被?#21040;?#22826;阳能电池生产厂家所验证。

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